A股 “光刻機第一股”要來了。

　　9月17日，上交所發布科創板上市委會議審議結果，北京華卓精科科技股份有限公司(下稱“華卓精科”)首發獲通過。

來源：上交所官網

　　華卓精科主要研究、開發以及生產超精密測控設備部件、超精密測控設備整機并提供相關技術開發服務，是國內首家自主研發并實現光刻機雙工件臺商業化生產的企業，其已進入國產光刻機廠商上海微電子的供應鏈。

　　值得一提的是，聯席主承銷商中金公司是華卓精科的第八大股東，持股比例為3.06%。2019年3月，國家大基金一期子基金上海半導體裝備材料基金出資4200萬元參與了華卓精科的增資，現持有其2.08%的股權。

　　深耕半導體精密測控領域

　　華卓精科的主要產品包括精密運動系統、晶圓級鍵合設備、激光退火設備、靜電卡盤等。

　　據了解，精密運動系統的主要功能為承載被加工或被測量零部件實現精密運動或定位。華卓精科的精密運動系統關鍵性能參數達到國際同類設備水平，可廣泛應用于半導體晶圓AOI檢測、LCD及OLED檢測與切割、PCB板曝光制造、生物檢測等行業。

來源：招股書

　　晶圓級鍵合設備旨在將兩片晶圓高精度對準、接合，工藝復雜。華卓精科打破EV Group在國內混合鍵合領域的壟斷。目前，公司已與上海集成電路研發中心有限公司形成了良好的合作關系。截至7月31日，公司晶圓級鍵合設備在手訂單金額為9520.45萬元。

　　華卓精科HBS系列全自動晶圓混合鍵合系統

來源：公司官網

　　激光退火設備指采用高能激光束對晶圓進行自動化退火的專用設備。目前，華卓精科聚焦于40-14nm的IC前道激光退火設備的研發，推動了我國高端IC前道激光退火設備領域的發展。公司激光退火設備在手訂單充足，截至7月31日，訂單金額為1.33億元。

　　靜電卡盤的主要作用是吸附硅片、玻璃或其他掩模類物品并使吸附物保持較好的平坦度。華卓精科開發出了12英寸PVD氮化鋁靜電卡盤，在一定程度上打破了國外廠商在該產品領域內的長期壟斷局面。

　　精密運動系統是華卓精科的第一大收入來源，2020年的銷售額為9655.11萬元，收入占比達63.47%。同期，晶圓級鍵合設備、激光退火設備、靜電卡盤的銷售額分別為1364.60萬元、1637.17萬元、122.35萬元，收入占比分別為8.97%、10.76%、0.80%。

來源：公司官網

　　華卓精科介紹，公司的晶圓級鍵合設備產品落后競爭對手；激光退火設備在部分指標上仍處于劣勢；精密運動系統在產品線的豐富度方面落后于國際龍頭企業；靜電卡盤在產品線構成、應用制程和應用領域等方面仍有待加強。

　　已有光刻機雙工件臺交付

　　光源、光學系統和工件臺是光刻機的三大核心組件。華卓精科目前已具備小批量生產光刻機雙工件臺的能力。

來源：招股書

　　所謂雙工件臺，即在一臺光刻機內有兩個承載晶圓的工件臺，一個做曝光，一個做測量，同時運行，可大幅提高芯片的生產效率。

　　不過，華卓精科的光刻機雙工件臺業務尚未實現產業化。公司解釋說，光刻機工件臺產業化情況除受公司產品開發進度影響外，還受光刻機整機及系統部件的技術發展等因素的影響。

　　2020年4月，華卓精科首臺干式雙工件臺產品通過用戶測試，交付客戶。2021年1月、4月又分別向光刻機整機單位交付了1臺干式雙工件臺。公司表示，隨著下游客戶需求的提升，公司生產的光刻機雙工件臺數量將逐漸增加。

　　光刻機技術難度高，有半導體制造設備“皇冠”之稱。目前，國際上的光刻機廠商主要有ASML、尼康和佳能，其中ASML引領光刻機進入EUV時代。國內研制光刻機整機的廠商為數不多，主要是上海微電子，中國電科旗下的電科裝備也有布局。

來源：上海微電子官網

　　有觀點認為，國內廠商有望在今年開發出可用于生產28納米芯片的干式雙工件臺光刻機，并計劃2022年開發出可用于生產28納米芯片的浸沒式雙工件臺光刻機。

　　華卓精科表示，隨著國內晶圓產能的建設和擴產，中國將成為全球晶圓產能增長的重心，公司光刻機雙工件臺產業化具有良好的市場預期。

（文章來源：中國證券報）